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加工方式

基板模组切割分选设备
设备型号:ATM20
本设备搭配紫外纳秒激光器,对SMT贴装后的基板进行切割&分拣的全自动化设备。采用Slot Magazine的上料方式,经切割检测后,分选入JEDEC Tray。
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晶圆凹口切割+ID打标设备
设备型号:AWM42
利用激光在晶圆指定区域做对应的文字、2D打标,同时具备Notch口扩大切割功能。
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芯片切割剥离设备
设备型号:LCC30
利用激光对键合晶圆上单颗芯片进行正面切割加工后,再翻面透过玻璃进行激光解胶加工的半自动设备。
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晶圆激光环切设备
设备型号:AWT11
利用激光对键合晶圆解键合之前进行edge trim工艺,槽深切割至玻璃载板,确保切透RDL层、release胶层时对玻璃载板的损伤程度可控制,损伤深度0~20微米。
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晶圆EMC开槽设备
设备型号:AWT10
利用激光对晶圆上大颗芯片应力集中的四角位置进行开槽加工,阻断应力延申,解决芯片因应力集中导致塑封开裂的问题。
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晶圆low-k层激光开槽设备
设备型号:LGV8110
利用激光对晶圆切割道进行开槽,带Low-k膜的晶圆的刀轮切割存在脱层问题。通过使用激光开槽,可抑制脱层,实现高质量加工。
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全自动柔性OLED异形切割设备
设备型号:APC系列
该系列设备主要用于AMOLED模组段精修加工,是将OLED面板用激光一体切割,以提高边缘精度,实现异形切割。设备可配备各种上下料方式、自动影像定位系统、上下料多种对接方式、AOI、USC清洁,为产品的自动高速切割加工和高品质稳定运行提供保障。
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无线充电领域切割应用设备
设备型号:FPS15/21/22/30
该设备使用高能量(绿光)激光对铁氧体等无线充电材料进行高效切割,切割后的产品边缘光滑无毛刺,无黑边,效率快。设备配备有自动影像定位系统,环境安全系统,为产品的自动高速切割提供保障。
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